《真空》（CN：21-1174/TB）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。

《真空》社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

真空应用、真空获得与设备、薄膜、测量与控制、真空冶金与热工、真空技术应用系列讲座、信息

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年度被引次数报告 (学术成果产出及被引变化趋势)

• 靶基距对杂化离子镀TiCN薄膜结构和性能的影响

  以基底与溅射碳靶之间的距离（靶基距）为变量参数,采用杂化离子镀技术在高速钢、硅片以及不锈钢片表面制备Ti CN薄膜。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、维氏硬度计、XP-2台阶仪分别对薄膜的物相结构、表面形貌、显微硬度、沉积速率进行表征,研究了靶基距对薄膜结构和性能的影响。结果表明,所制备的Ti CN薄膜具有晶体结构,膜层沿Ti CN（220）晶...

  作者：孙国威; 陈泽昊; 李云珂; 张川; 黄美东 刊期： 2018年第02期

• 钛掺杂氧化钨薄膜结构与电致变色性能研究

  本文采用直流反应磁控溅射法,在不同氧气分压条件下制备了钛掺杂氧化钨薄膜,结合X射线衍射分析（XRD）、拉曼光谱（Raman）分析、扫描电子显微镜（SEM）表面形貌分析、电化学测试和太阳光波段光谱测试等表征与分析方法,研究了溅射过程中氧气分压变化对薄膜晶体结构、表面形貌、光学性能和电致变色及循环稳定性的影响。结果表明：所制备的薄膜具...

  作者：代强; 刘静; 孟政; 汪洪 刊期： 2018年第02期

• 高透射深宽截止双通带荧光滤光片设计与PARMS镀制

  以Nb_2O_5和SiO_2为光学镀膜材料设计了可见光区双通带BP561nm＆BP687nm超多层膜系干涉滤光片。采用直接光控和速率控制混合的膜厚监控方案,制造工艺采用OMS Simulator设计并模拟镀膜过程,模拟膜厚误差优于±0.1%,并在PARMS镀膜机上进行镀制。制造光谱结果：双通带滤光片波长定位精度均小于±2nm,峰值透过率高于95%,截止区300-950nm背景优于OD6,完...

  作者：赵帅锋; 吕少波; 王瑞生; 姜超; 胡雯雯; 李明华; 穆佳丽 刊期： 2018年第02期

• 不同工作参数下Ni/Ag双层膜GDOES深度谱的比较

  随着射频辉光放电光谱仪在镀层和薄膜深度剖析中的应用逐渐深入,人们对其工作原理、设置参数对测试的影响也越来越关注。本文通过在不同气体工作压强和溅射功率下,对镍/银双层膜样品进行了辉光放电深度剖析的实验,探讨了自偏压与工作压强和溅射功率的关系。实验结果表明,自偏压随工作压强的增加而减小;随着溅射功率的增加,溅射速率随之增加,在特...

  作者：梁家伟; 林晓琪; 毕焰枫; 冯朗丹; 庄素娜; 韩逸山; 余云鹏; 王江涌 刊期： 2018年第02期

• 溅射功率对硅基哈氏合金薄膜性能的影响

  以硅片为基体,采用直流磁控溅射镀膜方法,制备了不同厚度的耐腐蚀的哈氏合金薄膜。采用SEM、XPS、显微硬度等方法,研究了室温条件下,不同溅射功率的哈氏合金薄膜的表面形貌、化学组成、膜厚以及硬度等性能,分析结果表明：低功率沉积的薄膜由纳米级均匀的球形颗粒构成,表面均匀平整,随着溅射功率的升高,晶粒尺度逐渐长大,表面应力随之增大;薄膜中...

  作者：庞甜甜; 王国栋; 陈长琦; 陈宗武; 张东庆 刊期： 2018年第02期